科普|硅压阻式MEMS压力传感器精度高、体积小、性能不变

在生活的各个范畴中压力都是一个关键参数。压力传感器的品种繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器等。但应用最为普遍的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特征。

压阻式压力传感器是基于半导体质料（单晶硅）的压阻效应原理造成的传感器，就是操纵集成电路工艺间接在硅平膜片上按必然晶向造成扩散压敏电阻，当硅膜片受压时，膜片的变形将使扩散电阻的阻值发作变革。

国内出名智能传感器厂商奥松电子，在MEMS范畴深耕20余年，自主研发了APR5852系列硅压阻式压力传感器，设置装备摆设了公用的 ASIC 芯片和操纵 MEMS 手艺加工的硅微构造压力传感器芯片，接纳双列曲插的封拆构造，能够间接安拆在尺度的PCB 板上，便利用户集成与改换。APR5852 系列产物丈量的压力值颠末传感器的转换及电路的放上将以模仿电压的形式输出，颠末温度抵偿，具有超卓的精度和持久的不变性。

APR5852压阻式压力传感器

颠末温度抵偿的硅压阻式压力传感器，实现大范畴的温度抵偿，以及调理差动放大器的增益来校正传感器的压力灵敏度变革，可实现多阶压力、温度非线性批改。每一个传感器的出厂都颠末严酷的校准和测试，保障并满足客户的大规模应用。

APR5852系列产物普遍应用于消费电子、智能家电、医疗、汽车、工业主动化、气象等范畴，例如：气流监测仪、暖通空调、通风设备、医疗器械（呼吸机、监护仪）、胎压计、风速和泄露探测等产物。