我国最先进光刻机？

我国最先进光刻机？

中国目前最先进的光刻机是上海微电子的SSA600系列。

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。